Mapy chemiczne

      Dla rejestracji rozkładu przestrzennego położenia pierwiastków w przypadku materiałów niejednorodnych mikroanalizator wyposażono w program pozwalający na wykonywanie map chemicznych badanegoobszaru powierzchni. Pierwiastki, których mapy położenia chcemy obserwować wybieramy z podstawowego spektrum promieniowania X emitowanego z badanej powierzchni. Odbywa się to poprzez wyodrębnienie dla danej mapy okna energetycznego, wewnątrz którego znajduje się energia linii emisyjnej interesującego nas pierwiastka. Tak programowo wskazany pierwiastek, oddzielnie dla każdej mapy, jest przedstawiony jako zbiór punktów o jasności przewyższającej całkowite tło mapy. Stopień natężenia tej jasności ponad poziom tła jest proporcjonalny do stopnia koncentracji danego pierwiastka w badanym obszarze. Poszczególne obrazy rozkładu pojedynczych pierwiastków w danej grupie map można sumować, odejmować, dzielić i mnożyć.
     Poniżej przedstawiono ryciny  ze źródłowym spektrum i naniesionymi oknami energetycznymi oraz mapy chemicze rozkładu pierwiastków na badanej powierzchni (ryciny pochodzą z materiałów reklamowych Oxford Instruments).



     Kolejne zdjęcia przedstawiają mapy chemiczne wnętrza tranzystora krzemowego. Pierwsza pokazuje wygląd topograficzny obserwowanego fragmentu (mod pracy SE). Następne mapy przedstawiają występowanie na badanej powierzchni (biały kolor) następujących pierwiastków: tlenu, glinu, krzemu i złota (elektrody doprowadzające są ze złota).